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全自動(dòng)深度腐蝕機(jī)

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全自動(dòng)深度腐蝕機(jī)

全自動(dòng)深度腐蝕機(jī)

1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材,長(zhǎng)期可工作在酸腐蝕環(huán)境,堅(jiān)固耐用,雙層防漏 。
2、全自動(dòng)設(shè)計(jì),可完全腐蝕透硅片,取代劃片機(jī)劃片造成邊沿毛刺和損傷。
3、酸液制冷循環(huán),材料在工藝槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)擺動(dòng),腐蝕均勻。
4、酸槽到水槽到出料全自動(dòng)機(jī)械手臂操作。
5、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI,所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理,電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件;
6、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。
7、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(SEMI-S2-93)執(zhí)行,ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。