全自動溝槽蝕刻機(jī)

樣式:臺式
材質(zhì):進(jìn)口勞士領(lǐng)板材
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1、機(jī)臺采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏。
2、采用外置大酸槽制冷循環(huán)到小酸槽的結(jié)構(gòu)，可腐蝕開溝4“，5”，6“硅片。
3、全自動運(yùn)行設(shè)計，操作方便安全。
4、溫控能力RT~-20°C，溫控精度±1°C。
5、制冷盤管專利設(shè)計，長時間使用不會腐蝕，直接制冷效果佳。
6、開溝均勻，130μm可達(dá)±3μm。
7、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI；
8、機(jī)臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)。
9、設(shè)備設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。
10、國內(nèi)發(fā)明專利號：ZL20140082522.0