山東聯(lián)盛電子設(shè)備有限公司成立于2014年 5月, 生產(chǎn)基地位于山東省高唐 高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),研發(fā)基地位于江蘇省無(wú)錫市錫山科創(chuàng)園,公司致力于半導(dǎo)體高端濕制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。
公司目前已申請(qǐng)國(guó)家專(zhuān)利30多項(xiàng),其中發(fā)明專(zhuān)利10項(xiàng),是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè) ,省級(jí)專(zhuān)精特新企業(yè),公司于2016年申請(qǐng)并通過(guò)1S09001質(zhì)量體系認(rèn)證,半導(dǎo)體SEMI-S2專(zhuān)業(yè)認(rèn)證。并于2020年、2022年分別和山東大學(xué)微電子學(xué)院,青島大學(xué)電子信息工程學(xué)院建立產(chǎn)學(xué)研合作,同時(shí)總經(jīng)理馬玉水被青島大學(xué)聘為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)導(dǎo)師。
我們產(chǎn)品服務(wù)的領(lǐng)域包括硅材料、化合物半導(dǎo)體材料等,主要設(shè)備有:全自動(dòng)RCA清洗機(jī)、全自動(dòng)鍍鎳鍍金清洗機(jī)、全自動(dòng)最終清洗機(jī)、全自動(dòng)腐蝕減薄清洗機(jī)、全自動(dòng)去邊清洗機(jī)、全自動(dòng)溝槽蝕刻機(jī)、全自動(dòng)二氧化硅蝕刻、爐管清洗機(jī)、CVD前清洗機(jī)、CDS(SDS)系統(tǒng)、BClean、0xideRemove、Nitride Remove、PR Strip,lift off、ParticleRemove, Solvent Clean、 MetalEtch, M2 Clean。
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