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無(wú)塵車(chē)間

全自動(dòng)擴(kuò)散清洗機(jī)

  • 全自動(dòng)擴(kuò)散片清洗機(jī)
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1、機(jī)臺(tái)采用進(jìn)口勞士領(lǐng)板材，長(zhǎng)期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅(jiān)固耐用，雙層防漏 。
2、全自動(dòng)設(shè)計(jì)硅片擴(kuò)散前清洗超聲動(dòng)作 。
3、超聲槽帶加熱提動(dòng)溢流等功能
4、控制部分采用進(jìn)口品牌PLC 和HMI，所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護(hù)其中的電器控制元件；
5、機(jī)臺(tái)前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮?dú)鈽尭?只置于右側(cè)。
6、設(shè)備設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)按半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進(jìn)行規(guī)范和保證。